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三豐LEGEX900系列高精度三坐標(biāo)測(cè)量機(jī),采用固定橋式結(jié)構(gòu),可提供初項(xiàng)達(dá)0.28微米的測(cè)量精度。
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● 用于位置檢測(cè)的長(zhǎng)度測(cè)量單元配備了超高精度測(cè)量單元(自社開發(fā)),
該單元采用熱膨脹系數(shù)為≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合,具有*高的位置檢測(cè)能力,
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